据彭博新闻报道，ASML新的EUV光罩对准器的每个单元消耗大约100万瓦特，大约是前几代的10倍三星，TSMC和其他依靠这种设备生产芯片的芯片制造商消耗大量能源，芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要绊脚石
根据该报告，TSMC拥有业内最多的80台EUV设备，并且正在安装新一代设备它是电力消费大国，预计2025年将占中国台湾省能源消费总量的12.5%，比2020年的6%增加一倍以上除了TSMC，美光还在中国台湾省使用至少一台EUV设备彭博分析师Charles Shum估计，三年内，台湾省四分之一的芯片制造代工厂将需要EUV的设备
总的来说，虽然有机会找到一种更环保的方法来制造芯片，但没有制造商愿意放慢速度。
